专注高品质
高温电热设备研发制造
袁经理
t |
单位 |
||||
坩埚有容积 |
mm |
Φ200×300 |
Φ300×400 |
Φ500×10500 |
Φ650×1200 |
中频电源功率 |
Kw |
100 |
160 |
200 |
250 |
中频电源频率 |
Hz |
2500 |
2500 |
2500 |
2500 |
工作温度 |
℃ |
2500 |
2500 |
2500 |
2500 |
限真空度 |
Pa |
3.6×10-3 |
3.6×10-3 |
3.6×10-3 |
3.6×10-3 |
压升率 |
Pa/h |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
恒温区温差 |
℃ |
±20 |
±20 |
±20 |
±20 |